tmah显影液成分
2023-12-16
TMah显影液成分 TMah显影液概述 TMah显影液是一种常用于半导体工业中的化学试剂,主要用于显影光刻胶。它是一种含有强氧化性的化学液体,具有很高的化学反应效率。TMah显影液成分复杂,包括多种化学物质。下面将对TMah显影液的成分进行详细介绍。 TMah显影液成分 TMah显影液的主要成分是四甲基铵羟化物(TMah)和氢氧化钠(NaOH)。TMah是一种有机羟化物,具有很强的氧化性和还原性,可以与光刻胶中的光敏剂发生反应,使其变得可溶于显影液。NaOH是一种碱性物质,可以中和光刻胶中的酸